１． Contamination free である。

　　ＩＣＰは ppt レベルの元素分析装置（ ICP-MS ）にも用いられているように、原理的に Contamination が入りません。

　　これに対して、電極放電；たとえば、平行平板を使う場合　（他社製品）は、原理的に Contamination が混入します。

大気圧 ICP を実現しているのは当社だけ です。

 

２．大気圧でマルチガスプラズマが安定に生成できる。 世界初の商品です。

  電極さえがあれば、放電は容易に実現できます。 ICP は無電極放電です。大気圧中で安定放電させるためには、優れた放電技術が必要です。

アルゴン、ヘリウムガスなどの単原子分子ガスプラズマはもとより、窒素、酸素等の分子性ガスにおいても、プラズマ生成が可能です。 ICP でマルチガスが可能です。

　　特に水素・酸素プラズマを生成できるので、プロセスに利点をもたらします。材料費コスト低減も可能です。

 

３．高密度プラズマ（電子密度　１ E １５電子数 /cm3 ）を生成できる。

　　低温電極放電の場合は、低密度プラズマであり、電子密度は１ E11 電子数 /cm3 以下であり、エネルギーは小さいので、目標に到達する前にほとんどのエネルギーが失われます。

　　一方、大気圧 ICP は 1E15 電子数 /cm3 と高密度プラズマ（ 熱プラズマ：プラズマ温度 3000~8000K ）を作ります。

　　対象物との距離が離れていても、プラズマを提供できます。

 

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